精密・エレクトロニクス

半導体

半導体製造の厳格な清浄度基準に応え汚染低減を実現する
バークシャーのコンタミネーションコントロールソリューション

半導体産業向け製品の特徴

回路の微細化が加速するなか、歩留まりに直結するコンタミネーションコントロールの重要性は日増しに高まっています。バークシャーは、前工程から後工程まで、各プロセスの清浄度要求に適合する製品を取り揃えています。

前工程向けには、多段階洗浄により微粒子、金属イオン、不揮発性残留物(NVR)を低減したポリエステルニットワイパーを展開しており、ISOクラス3などの高度な清浄度環境でも自己発塵リスクを最小限に抑えます。

後工程や装置保全向けには、汎用性の高い不織布ワイパーや、作業の標準化を図るプリウェットタイプを用意しています。IPAや酸、アルカリなどの過酷な薬品環境下でも優れた耐薬品性を発揮します。

全製品において統計的工程管理(SPC)を徹底し、ロット間のばらつきを抑えることで、最先端プロセスの安定稼働に貢献します。

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