MicroSeal® HA (マイクロシール HA)

MicroSeal® HA（マイクロシール HA）は、ポリエステル100%長繊維ニットを使用した、ISOクラス3（クラス10）以上のクリーンルーム環境における使用に適したクリーンルーム洗浄済みワイパーです。端面に超音波シールエッジ加工を施すことで、裁断端面からの繊維汚染や粒子の脱落、イオンおよび蒸発残留物（NVR）の発生を低いレベルに抑えています。バークシャーのISOクラス4クリーンルーム内における洗浄および包装プロセスを経て製造されています。

優れた耐摩擦性を備え、粗い表面の拭き取りにも適しています。製品の目付（重量）と厚みの組み合わせにより、操作性を高めており、吸収性能を備えています。イソプロピルアルコール（IPA）やアセトンをはじめとする一般的な溶剤に対する化学的適合性があり、各種溶剤を使用する工程での拭き取りに対応しています。半導体製造における酸化、メタライズ（金属化）、CVD（化学気相成長）、フォトリソグラフィ工程のほか、製造装置のチャンバー清掃やCMP（化学機械研磨）プロセスの拭き取り清掃に適しています。なお、本製品はRoHS指令およびREACH規則の要求事項に適合しています。