SuperPolx® 100 (スーパーポレックス100)

SuperPolx® 100（スーパーポレックス100）は、ポリエステル100%長繊維ニットを使用した、ISOクラス3（クラス10）以上のクリーンルーム環境における使用に適したクリーンルーム洗浄済みワイパーです。端面に超音波シールエッジ加工を施すことで、裁断端面からの繊維汚染や粒子の脱落、イオンおよび蒸発残留物（NVR）の発生を低いレベルに抑えています。バークシャーのISOクラス4クリーンルーム内における洗浄および包装プロセスを経て製造されています。

生地の厚みと重量の組み合わせにより操作性を高めており、粗い表面を拭く際にも対応しています。イソプロピルアルコール（IPA）やアセトンをはじめとする各種溶剤に対する化学的適合性と吸水性があり、コンタミネーションコントロールが必要な製造プロセスに対応しています。半導体や精密電子部品製造における酸化、メタライズ（金属蒸着）、CVD（化学気相成長）、フォトリソグラフィなどの各工程をはじめ、装置のチャンバー清掃、CMP（化学機械研磨）プロセス、印刷ロールのステンシル清掃に適しています。なお、本製品はRoHS指令およびREACH規則の要求事項に適合しています。