ValuSeal-HA®(バリューシール HA)は、ISOクラス3(クラス10)以上のクリーンルーム環境における使用に適した、ポリエステル100%長繊維ニットワイパーです。端面に超音波シールエッジ加工を施し、バークシャーのISOクラス4クリーンルーム内における洗浄および包装プロセスを経て製造されることで、粒子や繊維、イオン、溶出物の発生を低いレベルに抑えています。軽量でありながら吸水性を備えた素材設計により、重量のある他の製品と比較して運用の経済性を高めています。

優れた耐摩擦性とイソプロピルアルコール(IPA)やアセトンをはじめとする各種溶剤に対する化学的適合性があり、コンタミネーションコントロールが必要な製造プロセスに対応しています。半導体製造における酸化、メタライズ(金属蒸着)、CVD(化学気相成長)、フォトリソグラフィなどの各工程をはじめ、装置のチャンバー清掃やCMP(化学機械研磨)プロセスといった、多量の液体の拭き取りを伴うメンテナンス作業に対応しています。また、高圧蒸気滅菌(オートクレーブ)に対応しています。

    ISO 3 - 5
    Polyester
    オートクレーブ可
    超音波カット
目付
135.0
厚さ
418
脱落繊維 (≧100µm)
0.0800
液中発塵 (≧0.5µm)
0.3100
吸水量
530
効率
3.9
速度
1
DI Water (不揮発性残留物)
0.0048
IPA (不揮発性残留物)
0.0050
Na+
0.2900
K+
0.03300
Ca++
0.0300
Mg++
0.00590
Cl
0.140

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