ValuSeal®-LP(バリューシール LP)は、ISOクラス3(クラス10)以上のクリーンルーム環境における使用に適した、ポリエステル100%長繊維ニットワイパーです。端面に超音波シールエッジ加工を施し、バークシャーのISOクラス4クリーンルーム内における洗浄および包装プロセスを経て製造されることで、粒子や繊維、イオン、溶出物の発生を低いレベルに抑えています。適度な生地の厚みと重量の組み合わせにより操作性を高めており、粗い表面を拭く際にも対応しています。

優れた耐摩擦性とイソプロピルアルコール(IPA)やアセトンをはじめとする各種溶剤に対する化学的適合性があり、コンタミネーションコントロールが必要な製造プロセスに対応しています。半導体製造における酸化、メタライズ(金属蒸着)、CVD(化学気相成長)、フォトリソグラフィなどの各工程をはじめ、装置のチャンバー清掃やCMP(化学機械研磨)プロセス、印刷ロールのステンシル清掃など、凹凸のある箇所や確実な拭き取りが求められるメンテナンス作業に適しています。また、高圧蒸気滅菌(オートクレーブ)に対応しています。

    ISO 3 - 5
    Polyester
    オートクレーブ可
    超音波カット
目付
145.0
厚さ
411
脱落繊維 (≧100µm)
0.0340
液中発塵 (≧0.5µm)
0.4700
吸水量
435
効率
3
速度
1
DI Water (不揮発性残留物)
0.0074
IPA (不揮発性残留物)
0.0100
Na+
0.3900
K+
0.04100
Ca++
0.0330
Mg++
0.00580
Cl
0.140

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